紫外熒光測硫儀因為長時間使用。反應室內會有殘余物沉積，導致靈敏度降低，分析結果不重復等，所以用戶應根據使用情況定期清洗反應室。沉積物質可能是粉末狀也可能是油狀，其顏色可能是黃色、棕色或黑色，這主要取決于所含分析樣品的種類及操作條件，如進樣速度過快，氧氣不足，爐子溫度太低等。

正確清洗方法：

1.關閉所有電源開關。

2.打開機后蓋，拔去暗室高壓電源及信號源插頭，斷開連接管線。

3.松開暗室與底座上固定螺絲，取出暗室后，反應暗室端蓋固定螺絲。（有氣路管線的端蓋）。小心取下壓蓋、濾光片。如果“O”型圈破碎，請換用新的。

4.用擦鏡紙擦拭石英片和濾光片，用干凈不帶毛的軟布擦拭反應室內壁，如有必要，可沾用丙酮或乙醇擦洗干凈，再用氧氣吹干。

5.反應室清洗完畢，重新按順序安裝。

注意：固定濾光片、石英片時，動作要平穩，緊固程度以保證不漏氣即可，謹防濾光片、石英片破裂。濾光片、石英片位置不要裝反，石英片在反應室內壁，用于保護濾光片。

6.把暗室固定到檢測器上，接好連接線及氣路管線，避免漏光、漏氣現象。